性能：

采用标准电机，灵活性高，可应对特殊电压并符合ATEX规定

易于维护和更换轴密封圈

集成式旁通管路，可在 防止WAU 型号高压过载

可在现场从垂直流转换成水平流

快速达到低于 10-3 mbar 的压力

节省冷却水费用以及水回路维护成本

应用行业：

与前级泵配合使用，可对气体和蒸气进行无油压缩

适用于短节拍工艺

能够处理大量气体和蒸气

进出样室应用