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性能：
集成分子泵(分子泵，变频器和电源一体)，易于与系统集成，操作简单，占用空间小
对气体有高抽速和高压缩比
复合型分子泵
耐粉尘，耐冲击，自动监测和自我保护，免维护
行业应用：
科研/分析仪器、工业及镀膜应用、生命科学、太阳能工业、显示行业
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