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大抽速溅射离子泵

作者:admin 发布时间:2023-05-10 22:16:07点击:86

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性能特点:

抽速:1.6m3/h~65m3/h

极限真空度:10-4毫巴(无气镇分压强)

2x10-3mbar(无气镇全压强)

5x10-3mbar(带气镇全压强

耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar


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