TSP钛升华泵和NEG泵可以独立使用或者与离子泵组合获得超高真空真空/极高真空环境。与离子泵组合可以使系统在更短的时间内达到超高真空

性能：

全系列无振动、免维护的钛离子泵、钛升华泵 (TSP) 和非蒸发型吸气剂(NEG) 泵，可在超高真空中实现出众的极限压力。

在超高真空下具有高抽速

无烃真空

长时间运行

整体解决方案

抽速 0.2 - 1200 l/s

极限真空 < 1 x 10-11mbar