真空测量的主力设备

工作范围广，在绝大多数环境下坚固耐用，适用于粗真空到中等真空水平

测量范围为 10-2 至 10-9 mbar/torr

通常与皮拉尼真空计配合使用，以测量高真空泵系统

热阴极真空计与冷阴极不同，它在传感器中内置了一根热丝来发射电子。该技术能够测量中到到超高真空 (10-12mbar/torr)

主要类型为 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真空计 (IE 514)

提取技术能够精确测量 10-12 mbar/torr 的极高真空